Большой энциклопедический словарь - диффузионный насос

вакуумный насос, действие которого основано на диффузии молекул откачиваемого газа в струю пара (пароструйный насос) жидкости, истекающей из сопла. Различают парортутные диффузионные насосы (остаточное давление 10-10-10-12 Па) и паромасляные (до 10-9 Па).